Sdílet Sdílet Sdílet

Multidimensional interferometric tool for the local probe microscopy nanometrology

MEASUREMENT SCIENCE & TECHNOLOGY

Hrabina, J; Lazar, J; Klapetek, P; Cip, O, 2011: Multidimensional interferometric tool for the local probe microscopy nanometrology. MEASUREMENT SCIENCE & TECHNOLOGY 22(9), doi: 10.1088/0957-0233/22/9/094030

Výzkumné skupiny:

• Vývoj metod analýzy a měření

CEITEC autoři:

• Mgr. Petr Klapetek, Ph.D.