Sdílet Sdílet Sdílet

Studies of influence of high temperature preannealing on oxygen precipitation in CZ Si wafers

JOURNAL OF CRYSTAL GROWTH

Meduna, M; Caha, O; Bursik, J, 2012: Studies of influence of high temperature preannealing on oxygen precipitation in CZ Si wafers. JOURNAL OF CRYSTAL GROWTH 348(1), p. 53 - 59, doi: 10.1016/j.jcrysgro.2012.03.048

Výzkumné skupiny:

• Centrální laboratoř Biofotonika

CEITEC autoři:

• Mgr. Ondřej Caha, Ph.D.