Sdílet Sdílet Sdílet

AFM nanometrology interferometric system with the compensation of angle errors

OPTICAL MEASUREMENT SYSTEMS FOR INDUSTRIAL INSPECTION VII

Hrabina, J; Lazar, J; Klapetek, P; Cip, O, 2011: AFM nanometrology interferometric system with the compensation of angle errors. OPTICAL MEASUREMENT SYSTEMS FOR INDUSTRIAL INSPECTION VII 8082, doi: 10.1117/12.889544

Výzkumné skupiny:

• Vývoj metod analýzy a měření

CEITEC autoři:

• Mgr. Petr Klapetek, Ph.D.