Atomic Layer Deposition of MoSe2 Using New Selenium Precursors

FlatChem

ZAZPE MENDIOROZ, R.; CHARVOT, J.; KRUMPOLEC, R.; HROMÁDKO, L.; PAVLIŇÁK, D.; DVOŘÁK, F.; KNOTEK, P.; MICHALIČKA, J.; PŘIKRYL, J.; NG, S.; JELÍNKOVÁ, V.; BUREŠ, F.; MACÁK, J, 2020: Atomic Layer Deposition of MoSe2 Using New Selenium Precursors. FLATCHEM 21, p. 1 - 10, doi: 10.1016/j.flatc.2020.100166; FULL TEXT
(TITAN)

Equipment:

Research Groups:

CEITEC authors: